设(She)备(Bei)简(Jian)述(Shu):
ZY-1211模(Mo)具(Ju)多(Duo)弧(Hu)离(Li)子(Zi)镀(Du)膜(Mo)机(Ji)是(Shi)我(Wo)司(Si)自(Zi)主(Zhu)研(Yan)发(Fa)的(De)超(Chao)硬(Ying)膜(Mo)离(Li)子(Zi)镀(Du)膜(Mo)机(Ji)，(?)采(Cai)用(Yong)独(Du)有(You)的(De)新(Xin)型(Xing)过(Guo)滤(Lu)弧(Hu)源(Yuan)镀(Du)膜(Mo)技(Ji)术(Shu)、(?)电(Dian)子(Zi)枪(Qiang)辅(Fu)助(Zhu)镀(Du)膜(Mo)技(Ji)术(Shu)使(Shi)电(Dian)弧(Hu)在(Zai)整(Zheng)个(Ge)靶(Ba)材(Cai)表(Biao)面(Mian)做(Zuo)快(Kuai)速(Su)的(De)移(Yi)动(Dong)，(?)增(Zeng)强(Qiang)了(Liao)靶(Ba)材(Cai)的(De)离(Li)化(Hua)率(Lu)，(?)使(Shi)得(De)靶(Ba)材(Cai)表(Biao)面(Mian)被(Bei)均(Jun)匀(Yun)刻(Ke)蚀(Shi)，(?)涂(Tu)层(Ceng)表(Biao)面(Mian)光(Guang)滑(Hua)致(Zhi)密(Mi)的(De)同(Tong)时(Shi)优(You)化(Hua)了(Liao)涂(Tu)层(Ceng)结(Jie)合(He)力(Li)，(?)确(Que)保(Bao)了(Liao)涂(Tu)层(Ceng)厚(Hou)度(Du)及(Ji)涂(Tu)层(Ceng)的(De)均(Jun)匀(Yun)性(Xing)。(?)同(Tong)时(Shi)，(?)新(Xin)技(Ji)术(Shu)的(De)应(Ying)用(Yong)提(Ti)高(Gao)了(Liao)镀(Du)膜(Mo)效(Xiao)率(Lu)，(?)节(Jie)约(Yue)了(Liao)能(Neng)源(Yuan)和(He)运(Yun)行(Xing)成(Cheng)本(Ben)。(?)|
炉(Lu)体(Ti)尺(Chi)寸(Cun) |
φ(?)1200*H1100 |
有(You)效(Xiao)空(Kong)间(Jian) |
φ(?)850*H700 |
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工(Gong)件(Jian)最(Zui)大(Da)直(Zhi)径(Jing)*数(Shu)量(Liang) |
φ(?)150*12个(Ge) |
抽(Chou)气(Qi)时(Shi)间(Jian) |
大(Da)气(Qi)到(Dao)6X10-3 <15分(Fen)钟(Zhong) |
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工(Gong)作(Zuo)电(Dian)压(Ya)/频(Pin)率(Lu) |
380V/50Hz |
实(Shi)际(Ji)功(Gong)率(Lu) |
70KW |
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应(Ying)用(Yong)技(Ji)术(Shu) |
HCD+ARC |
靶(Ba)材(Cai)数(Shu)量(Liang) |
12个(Ge) |
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极(Ji)限(Xian)压(Ya)力(Li) |
5.0*10-4Pa |
漏(Lou)率(Lu) |
<10-3Pa.L/s |
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标(Biao)准(Zhun)涂(Tu)层(Ceng) |
TiN、(?)CrN、(?)TiCN、(?)AlTiN等(Deng) |
其(Qi)它(Ta)复(Fu)合(He)涂(Tu)层(Ceng) |
TiAlCrN、(?)TiSiN、(?)TiCrN、(?)DLC等(Deng) |
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工(Gong)件(Jian)转(Zhuan)架(Jia)结(Jie)构(Gou) |
下(Xia)转(Zhuan)架(Jia)结(Jie)构(Gou) |
真(Zhen)空(Kong)室(Shi)结(Jie)构(Gou) |
立(Li)式(Shi)单(Dan)开(Kai)门(Men) |
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电(Dian)源(Yuan)类(Lei)型(Xing) |
弧(Hu)电(Dian)源(Yuan)、(?)脉(Mai)冲(Chong)偏(Pian)压(Ya)电(Dian)源(Yuan)、(?)电(Dian)子(Zi)枪(Qiang)电(Dian)源(Yuan) |
真(Zhen)空(Kong)系(Xi)统(Tong) |
分(Fen)子(Zi)泵(Beng)、(?)罗(Luo)茨(Ci)泵(Beng)、(?)直(Zhi)联(Lian)泵(Beng) |
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生(Sheng)产(Chan)周(Zhou)期(Qi) |
3-6小(Xiao)时(Shi)/炉(Lu) |
外(Wai)围(Wei)尺(Chi)寸(Cun) |
L4200*W2900*H2600mm |
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产(Chan)量(Liang)/炉(Lu) |
铣(Xi)刀(Dao)φ(?)10*70 900 |
配(Pei)套(Tao)条(Tiao)件(Jian) |
循(Xun)环(Huan)水(Shui)压(Ya)力(Li)：(?)2-3KG/CM3 |
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刀(Dao)粒(Li)φ(?)18*6 6600 |
水(Shui)量(Liang)：(?)10T/H |
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滚(Gun)刀(Dao)φ(?)80*80 68 |
压(Ya)缩(Suo)空(Kong)气(Qi)：(?)4-6 KG/CM3 |
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模(Mo)具(Ju) 500KG |
(?) |
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控(Kong)制(Zhi)方(Fang)式(Shi) |
PLC+触(Chu)摸(Mo)屏(Ping) 组(Zu)态(Tai)软(Ruan)件(Jian) |
工(Gong)作(Zuo)气(Qi)体(Ti) |
Ar、(?)N2、(?)O2、(?)C2H2等(Deng) |
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工(Gong)业(Ye)PC+PLC+触(Chu)摸(Mo)屏(Ping) |
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自(Zi)己(Ji)开(Kai)发(Fa)的(De)镀(Du)膜(Mo)专(Zhuan)用(Yong)软(Ruan)件(Jian) |
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适(Shi)用(Yong)范(Fan)围(Wei) |
适(Shi)用(Yong)于(Yu)注(Zhu)塑(Su)、(?)五(Wu)金(Jin)、(?)压(Ya)铸(Zhu)、(?)冲(Chong)压(Ya)、(?)成(Cheng)型(Xing)等(Deng)模(Mo)具(Ju)，(?)各(Ge)类(Lei)零(Ling)件(Jian)、(?)配(Pei)件(Jian)及(Ji)切(Qie)削(Xiao)刀(Dao)具(Ju)、(?)刀(Dao)粒(Li)等(Deng) |
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备(Bei)注(Zhu) |
真(Zhen)空(Kong)室(Shi)尺(Chi)寸(Cun)，(?)外(Wai)围(Wei)尺(Chi)寸(Cun)，(?)设(She)备(Bei)外(Wai)观(Guan)等(Deng)可(Ke)按(An)客(Ke)户(Hu)产(Chan)品(Pin)或(Huo)及(Ji)特(Te)殊(Shu)工(Gong)艺(Yi)要(Yao)求(Qiu)订(Ding)做(Zuo) |
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